音频小功率静电感应晶体管的制作工艺

【摘要】随着电子技术的发展及人们生活条件的提高,高品质的音响设备和更高档的家庭影院也逐渐开始兴起。这些设备往往需要几十瓦甚至几百瓦的音频功率。因此,低失真、高效率的音频放大器就成为其中的关键部件。本论文是在阅读了国内外有关文献的基础上从器件结构、原理、特点以及应用等方面对静电感应晶体管进行了详细的阐述。另外,在介绍了SIT工作原理的基础上,利用SGFramework软件对器件的I-V特性、沟道电子浓度、栅压和漏压对势垒高度的控制情况进行了模拟仿真。根据音响设备制作商对器件电学参数的要求,分别从材料参数、结构参数以及工艺参数三个方面对管芯的尺寸、杂质浓度、扩散结深以及衬底材料等方面进行说明。在参考原有版图的基础上确定相关参数后,采用L-Edit软件绘制表面栅结构SIT的版图,并对版图的顺序及其作用进行详细的说明。从制作工艺的角度出发,介绍了本文设计的小功率音频静电感应晶体管的工艺流程和分步工艺,详细说明了分步工艺的作用和目的。并用SilvacoTCAD软件对器件的各项工艺流程进行模拟仿真。实际制作了器件样品,并对器件的电学参数进行了测试,测试项目主要包括了击穿电压、泄漏电流、通态压降、耗散功率、I-V特性、转移特性以及温度变化特性等。同时将测试结果与日本索尼公司的2SK79在结构、工艺、特性方面进行了对比。
【作者】刘亚虎；
【导师】杨建红；田永辉；
【作者基本信息】兰州大学，集成电路工程（专业学位），2014，硕士
【关键词】音频放大器；SIT；版图设计；工艺制作；

【参考文献】
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