新型叠层透明导电薄膜的研制

【摘要】近年来，透明导电薄膜作为电极被广泛应用于多种电子和光电子器件中，例如触摸屏、有机发光二极管、太阳能电池等。随着科技的不断进步，以ITO为代表的透明导电氧化物（TCO）薄膜呈现出主要元素铟的资源短缺、柔性性能欠佳，以及与有机半导体能级不匹配而导致的界面接触性能差等日益突出的问题。因此开发无铟、低阻且与有机半导体能级匹配良好的新型透明导电薄膜具有重要的科学意义和应用价值。本文共设计了三种叠层透明导电薄膜。分别为V2O5/Ag/V2O5、BaO/Au/BaO、LiF/Ag/LiF。（1）首次利用溶胶-凝胶技术与电子束蒸镀技术相结合的方法在常温条件下研制出叠层结构的V2O5/Ag/V2O5（VAV）透明导电薄膜。实验表明，该薄膜具有良好的光学和电学性质，可见光（380~780nm）平均透过率达75%,迁移率为16.89cm2/Vs，载流子浓度为-1.043×1022cm-3，方块电阻值为15.1Ω/□，功函数为5.17eV。该制备方法降低了V2O5薄膜的工艺制备难度，为该材料在太阳能电池中的应用创造了良好的前期基础。（2）采用电子束蒸镀技术首次研制出叠层结构的BaO/Au/BaO透明导电薄膜。其可见光（380~780nm）平均透过率在75%以上，迁移率16.22cm2/Vs，载流子浓度-1.124×1022cm-3,电阻率为3.428×10-5Ω·cm。良好的光电性能使BaO/Au/BaO薄膜具有应用于光电器件中的巨大潜力。（3）采用电子束蒸镀技术首次研制出具有良好光电性能的LiF/Ag/LiF叠层透明导电薄膜。该薄膜的电阻率为7.738×10-5Ω·cm，迁移率7.485cm2/Vs，载流子浓度-1.078×1022cm-3，紫外（320~380nm）平均透过率在70%以上，具有良好的紫外透过性和导电性。
【作者】佐婧；
【导师】刘星元；
【作者基本信息】中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所)，凝聚态物理，2013，硕士
【关键词】溶胶-凝胶技术；电子束蒸镀技术；透明导电薄膜；叠层结构；V2O5/Ag/V2O5；BaO/Au/BaO；LiF/Ag/LiF；

【参考文献】
[1]张华.深圳上市公司股权激励登记结算模式优化研究[D].北京交通大学,2014.
[2]卢星辰.大学生创业风险的基本概念与研究动态[J].湖北经济学院学报(人文社会科学版),2014,08:158-159.
[3]薛倩倩.雀儿舌头生物碱的测定与富集及查尔酮三氮烯衍生物的合成[D].郑州大学,有机化学,2013,硕士.
[4]GartnerChina.CRM实施中的一些关键问题[N].中国计算机报,2001-03-08A22.
[5]李孝琴.澳大利亚动物福利与保护[D].华东师范大学,英语语言文学,2013,硕士.
[6]杨刚.超短脉冲色散补偿镜的设计与应用[D].哈尔滨工业大学,光学,2014,硕士.
[7]王婷.混合动力电动汽车控制策略的优化研究[D].北京交通大学,2009.
[8]侯珊珊.长沙近代教会建筑研究[D].湖南大学,建筑设计及其理论,2011,硕士.
[9]黄华平.Thue-Morse序列石墨烯超晶格中电子输运和散粒噪声[D].河北师范大学,凝聚态物理,2013,硕士.
[10]吕喆.西尼罗河病毒E蛋白结构域Ⅲ的原核表达及间接ELISA检测方法的建立[D].吉林农业大学,预防兽医学,2012,硕士.
[11]张联怡.近江牡蛎糖原提取、纯化及化学结构研究[D].广东海洋大学,水产品加工及贮藏工程,2013,硕士.
[12]王舒平.锂离子电池正极材料LiFePO_4的制备及其性能研究[D].山东大学,无机化学,2013,硕士.
[13]王莹.石棉案分析：GATT第20条、TBT协议与公共健康[D].吉林大学,国际法学,2004,硕士.
[14]寇雅楠,廖志刚,李增智,李国莉,赵银亮.基于AI的主动数据挖掘技术在网络故障管理中的应用[J].小型微型计算机系统,2003,03:505-508.
[15]张静.历史文献记录的塔克拉玛干沙漠南缘的环境变化[D].河北师范大学,自然地理学,2013,硕士.
[16]梁华.天华有限责任公司发展战略研究[D].石家庄经济学院,MBA,2013,硕士.
[17]王秋姣.水分胁迫对三种彩叶植物的影响研究[D].中南林业科技大学,园林植物与观赏园艺,2013,硕士.
[18]谈骁.十七年文学暴力叙事研究[D].湖北大学,中国现当代文学,2012,硕士.
[19]姚俊.浅谈关联规则挖掘[J].信息技术,2005,06:85-87.
[20]王春喜,查建中.基于数据仓库的供应链信息集成[J].计算机工程与应用,2005,36:183-186.
[21]白榆军.武汉黄鹤楼公园游憩价值研究[D].湖北大学,人文地理学,2012,硕士.
[22]PetrosHabteslasieMelake.厄尔特里亚渔业管理评估[D].厦门大学,海洋事务,2014,硕士.
[23]童帅霏,蔡木易,董哲.肽餐混合料混合均匀度检测方法探究[J].食品与发酵工业.
[24]陈国伟,赫玉欣,刘秋菊,李旭阳,张玉清.功能聚氨酯泡沫的研究进展[J].塑料科技,2014,03:124-129.
[25]许云波.界面能对纳米尺度冰熔化的影响[D].兰州大学,材料物理与化学,2014,硕士.
[26]潘荷敏.食物特征和个体学习对褐家鼠选择新异食物的影响[D].扬州大学,遗传学,2011,硕士.
[27]赵云敏.基于虚拟现实技术的井筒信息动态处理及展示系统的研究与应用[D].浙江大学,控制科学与控制工程,2012,硕士.
[28]白佳威.农村族群认同的分析[D].华中师范大学,社会学,2013,硕士.
[29]叶道一.提高单体液压支柱耐蚀性的途径[J].煤炭科学技术.1989(10)
[30]申龙龙.基于模糊控制的单路口信号控制研究[D].北京交通大学,2014.
[31]易志军.甘肃省酒泉市活动课程实施情况的调查研究[D].西北师范大学,课程与教学论,2003,硕士.
[32]刘华云.北京市医疗旅游发展环境分析及对策建议[D].北京中医药大学,社会医学与卫生事业管理,2014,硕士.
[33]霍灵瑜,敖成龙,龚元明.涉及障碍物的聚类方法研究[J].计算机工程与应用,2004,06:69-70+79.
[34]王雅楠.关于我国出口信用保险问题的研究[D].东北财经大学,国际贸易,2003,硕士.
[35]张倩倩.辩诉交易制度中国化的理性建构[D].山东大学,法律（专业学位）,2013,硕士.
[36]董保华,罗铮.深切怀念余树勋先生[J].中国园林,2014,10:55-57.
[37]吴园园.三唑酮对花期大豆干旱胁迫及旱后复水条件下生长和生理特性的影响[D].南京农业大学,作物栽培学与耕作学,2013,硕士.
[38]郑涵月.旅游企业效率工资的效益评估研究[D].中南民族大学,旅游管理,2013,硕士.
[39]黄金芳.寿险投资问题研究[D].东北财经大学,金融学,2003,硕士.
[40]王凤佐.员工对上级的社会支持的感知及对其工作压力感的影响[D].大连理工大学,企业管理,2004,硕士.
[41].中国国际茶树花研发中心在浙江大学成立[J].茶叶,2015,01:28+14.
[42]汪小松.企业生命周期与商业银行信贷市场定位研究[D].湖南大学,金融学,2003,硕士.
[43]王冠三.面对市场加强科研争锋引进提高质量[J].机械工程.1987(04)
[44]徐秋实.基于Flex+Spring的营销互通平台的分析与设计[D].厦门大学,软件工程,2014,硕士.
[45]卢小迪.自噬及PARP-1对鼻咽癌CNE-2细胞放射敏感性影响的实验研究[D].广西医科大学,肿瘤放射治疗学,2014,博士.
[46]魏玲.PDS模式背景下美国中小学教师在职专业发展[D].河北师范大学,教育学原理,2012,硕士.
[47]马建敏.集合的轨迹的拓扑极限[D].广西大学,基础数学,2004,硕士.
[48]张振.新型纳米复合材料在电化学传感器中的应用研究[D].上海大学,钢铁冶金,2014,博士.
[49]余南华,黄曙,李先波,李科.变电站五防控制规则自动生成技术思路[J].电力系统自动化,2010,17:97-99.
[50]汤衡.资本充足率要求与银行对策研究[D].华东师范大学,金融学,2004,硕士.