以BCl_3-CH_4-H_2为前驱体、化学气相沉积制备B_xC凝聚相产物的热力学研究（英文）

【摘要】采用完整热力学平衡分析验证了自愈合相BxC的产物是温度和初始气体摩尔比的函数。结果表明,凝聚相的成分与温度和气体的摩尔比(如BCl3:(BCl3+CH4)、H2:(BCl3+CH4))密切相关。BxC的理想沉积条件是:BCl3:(BCl3+CH4)之比为0.8,H2:(BCl3+CH4)之比在10~105.2之间,而温度应高于950K。材料的富碳或者富硼主要通过调整BCl3:(BCl3+CH4)和H2:(BCl3+CH4)的气体摩尔比来控制。
【作者】孙国栋；邓娟利；李辉；张青；
【机构】长安大学；西北工业大学凝固技术国家重点实验室；西北工业大学超高温结构复合材料重点实验室；
【关键词】热力学；化学气相沉积；凝聚相；

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