【摘要】近年来，随着超精密加工和微细加工技术的广泛应用，微型机械、超精密光学器件、MEMS等越发趋于微型化，传统的三坐标测量机(CoordinateMeasuringMachining,CMM)已满足不了这些微小器件和微位移量的测量精度要求，因此研制新型微纳米CMM成为了当下新的发展趋势。作为微纳米CMM三维测量技术核心的三维测头触发定位技术逐渐成为国内外研究的热点和难点问题。针对微纳米CMM中三 […]