【摘要】随着光栅刻划技术及电子技术的进步，光栅测量在近二三十年得到了迅猛发展。光栅尺作为一种主要光栅测量工具，其分辨力受光栅刻划工艺及光电转换器件体积的影响，很难有大幅度的提升。本设计采用细分技术对光栅尺进行处理，提高了光栅尺的分辨力及测量灵敏度，节约了光栅测量系统的制造成本，降低了系统的开发难度。本设计采用只读存储器细分的方法实现对光栅尺测量信号的准确鉴相及高倍细分，并选用高速A/D转换器及并行 […]