【摘要】类金刚石（DLC）薄膜由于其高硬度、良好的化学稳定性等特点而受到广泛的关注。但是其较差的热稳定性和低的膜基结合力大大限制了其在特殊工况下的应用。研究表明：金属硫化物掺杂能够有效改善类金刚石薄膜的综合性能。本文以梯度复合薄膜技术为主导，采用离子束辅助沉积和低温离子渗硫处理相结合的方式制备了WS2/W-DLC和MoS2/Mo-DLC两种复合固体润滑薄膜，利用扫描电子显微镜、三维白光形貌仪、X射 […]