【摘要】MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)技术是近代迅速发展起来的一项高新科技,具有微型化、集成化、可批量生产和多学科交叉等特点,是现代科技发展的重要领域。近年来,随着MEMS技术的飞速发展,MEMS器件在国民经济和国防军事等众多领域发挥着不可估量的作用,MEMS器件的设计、加工开始受到各国研究人员的关注。本论文对硅基MEMS器件的设计、加工技术进行了深入的研究, […]

【摘要】自1845年M.Faraday发现磁光Faraday效应以来已有169年,期间人们又发现了各种磁与光相互作用的现象,如Kerr效应、Zeeman效应、光磁效应等,而且关于磁光效应的应用也越来越多,比如磁光显微镜、光纤隔断器等。最近几十年来,由于光学的一门分支等离激元学的发展,以及纳米制备技术的进步,磁光学与等离激元学相互交融,逐渐发展出一门新兴的,以研究材料中磁性与等离激元性质相互作用为主 […]