【摘要】随着微机电系统技术的发展，压电泵凭借其结构简单、易于微型化等特点得到了广泛的研究和应用。压电隔膜泵是众多压电泵中最典型的一种，人们通过先进的设计理念和制造工艺对它进行优化，使压电隔膜泵的稳定性和输出性能不断完善和提高。在工业生产领域中压电隔膜泵的实际应用日趋广泛，但是特殊应用场合对压电隔膜泵的外形尺寸和输出性能同时提出了更高的要求。本文结合国家自然科学基金项目《压电型气体隔膜泵设计理论与关 […]