【摘要】鉴于对微流控芯片需求的不断增加和要求的不断提高，对用于微流控芯片制备的金属模具也提出了更高的要求。镍因其良好的耐腐蚀性而被广泛应用于微流控芯片的加工，对于金属微纳结构的制备，飞秒激光以其超短的脉冲宽度和极高的能量密度与其他加工方式相比具有他们所没有的极高加工能量，逐渐成为金属微纳尺寸加工的有效和重要手段。本文在研究飞秒激光与金属相互作用过程的基础上，利用简化双温方程进行模拟计算，发现激光能 […]