【摘要】MEMS（Micro-electro-mechanicalSystems，微机电系统）加速度传感器是新一代地震检波器的核心部件，它主要由MEMS传感器件、ASIC（ApplicationSpecifiedIntegratedCircuits，专用集成电路）读出电路等组成，可实现高灵敏度的地震波检测。本文依托国家科技重大专项，围绕“十二五”专项专题里的研究任务，对MEMS加速度传感器及其读出 […]