【摘要】近年来，纳米压痕/刻划技术在理论、仪器研发和应用等方面不断得到发展，但由于纳米压痕/刻划技术测量的尺度较小，对仪器精度和测试等因素要求都比较高，整个测试过程中不可避免的受到诸多因素影响。论文作者在前期参与纳米压痕仪器研制的过程中，发现由于加工误差、装配误差等原因，很难保证压头与试件的垂直度，而且在微纳米压痕以及刻划过程中，很多情况也会导致压头与试件的垂直误差，如压头的加工缺陷、整体机架的柔 […]