【摘要】如今，在半导体和集成电路制造领域，随着工艺过程、技术和设备的日益复杂，电子元器件产品自身功能的不断完善，以及客户对工艺水平及产品质量要求的不断提高，使得生产过程质量控制和评价技术显得日益重要。同时，越来越多的国内企业为了向国际型企业标准迈进，开始重视质量控制与工艺评价技术。因此，全面实施工艺质量控制与评价技术具有重要意义。本论文以半导体生产过程中多品种小批量生产过程及多变量生产工艺为主要研 […]