【摘要】椭圆偏振态的分析和研究以其在薄膜材料结构参数和光学常数绝对值测量中所显示的高准确度,高灵敏度、非破坏性、非接触式等优点而在科学研究和工业领域得到了广泛的应用。本论文在探索和研究如何进一步提高椭偏参数的测量速度和精准度两方面完成了以下工作：1.研究了一种并行椭圆偏振态的测量方法,将12个微型检偏晶体集成为一个组合式检偏器,采用CCD二维面阵探测器对光强进行多通道探测,彻底消除机械转动结构,显 […]