【摘要】随着科学技术的不断发展,在超精密加工、生物工程、微电子工程、纳米科学与技术等各个领域,对驱动进给技术提出越来越高的要求：实现在大行程范围内的精确定位。宏/微结合双驱动技术是目前实现大行程、高精度运动控制的一种有效策略。音圈电机是基于安培力原理的一种新型直接驱动电机。它可避免传动环节存在的间隙等不足,而且在理论上具有高加速度、高速度、高响应、体积小、力特性好等优点,所以适用于要求高加速度、高 […]