【摘要】传统的等离子体加工技术需要通过掩膜板来实现,这个过程不仅周期长,而且加工成本高昂。为了实现无掩膜等离子体刻蚀加工,课题组之前提出了一种基于扫描探针的微等离子体刻蚀方法,即将微放电器集成在悬臂梁探针的空心针尖上,以实现对样品高精度的无掩模刻蚀加工。然而,集成微放电器的悬臂梁探针加工工艺复杂,且探针结构十分脆弱,容易损坏。因此,课题组提出了无悬臂梁结构的微放电器针尖阵列的无掩模刻蚀加工方法。和 […]