【摘要】气体传感器与人们的生产生活息息相关，微结构气体传感器以其尺寸小，灵敏度高，易于实现集成化、智能化和功能化等特点，起着至关重要的作用。微热板作为微型气体传感器中重要的组成部分，一直是学者们研究的热点。本文以有限元分析软件ANSYS为平台，对微结构气体传感器微热板的结构进行了设计和优化，通过对微热板的电极和基底结构进行设计，并对其进行了热场和磁场的分析和优化，从而得到性能优良的微热板结构，主要 […]