【摘要】传统的等离子体加工技术需要通过掩膜板来实现,这个过程不仅周期长,而且加工成本高昂。为了实现无掩膜等离子体刻蚀加工,课题组之前提出了一种基于扫描探针的微等离子体刻蚀方法,即将微放电器集成在悬臂梁探针的空心针尖上,以实现对样品高精度的无掩模刻蚀加工。然而,集成微放电器的悬臂梁探针加工工艺复杂,且探针结构十分脆弱,容易损坏。因此,课题组提出了无悬臂梁结构的微放电器针尖阵列的无掩模刻蚀加工方法。和 […]

【摘要】由于重金属具有极高的毒性并且在环境中很难降解,重金属污染已经成为日益严重的环境问题。汞和镉是毒性最强的重金属元素之一,甚至在极低的含量下它们也可以通过食物链的富集对人体造成极大的危害。此外,汞的毒性、生物利用度和迁移性不仅与它的总含量有关,更与它的化学形态密切相关。因此,发展汞和镉的测定方法以及汞的形态分析方法对于评价它们对环境和人体健康的影响具有重要的意义。化学蒸气发生(CVG)与原子光 […]