【摘要】近年来,纳米科技一直是快速发展的前沿课题之一。原子力显微镜(AFM)因具有极高的分辨率,而且不受样品导电性的限制,而成为纳米科技领域的重要工具。传统AFM的扫描速度慢,严重限制了AFM的应用范围。这主要是由于压电陶瓷扫描器的X、Y、Z向之间存在交叉耦合,使得AFM在快速扫描中获得的图像扭曲失真。针对这种情况,本文在平板扫描器(XY和Z向分离,消除XY和Z向的交叉耦合)的基础上提出了一种基于 […]