【摘要】激光诱导击穿光谱(Laser-inducedbreakdownspectroscopy，LIBS)是一种全元素分析技术。基于LIBS的应用研究近年来仍然为人们所广泛关注，目前该技术在工业生产、环境监测、生物医药、等领域都得到了广泛的应用。在半导体行业，晶体管的制造通常是利用金属沉积于硅片表面。在形成晶体管的过程中，金属经常容易扩散入硅片，这可能导致弱化晶体管的电子性能甚至导致晶体管的损坏。 […]