【摘要】微纳米检测技术越来越成为现在世界科技发展的前沿之一,对现代科学技术的发展和社会进步起了非常巨大的推动作用。而扫描隧道显微镜(STM)与原子力显微镜(AFM)等超高分辨率的仪器已经成为纳米领域里不可或缺的重要检测工具,尤其是AFM,因为它不受样品是否导电的限制而广泛被应用于微电子学、医学、生物学、物理学、化学与精密机械及微纳米技术等领域。目前,世界上大多数传统的AFM,都没有显微监控单元。但 […]