【摘要】与其他波前检测设备相比，夏克-哈特曼(S-H)波前传感器易操作、而且具有实时性、动态范围大等优点，在大气湍流、眼科医疗、激光光束整形和系统检测等方向都有着普遍的发展。而待测系统的成像质量是计算机辅助装调中必要的输入条件，我们需要借助一定的像质测量技术得到待测系统的像质。S-H波前传感器测得的系统波前可以作为计算机辅助装调的输入条件，开展其在投影光刻物镜计算机辅助装调中的应用研究。限制夏克- […]

【摘要】在常见光学系统的设计过程中,默认所使用的光学材料各点折射率是均匀的。然而,事实上绝对均匀的光学材料并不存在。对一般的光学系统而言,由于系统本身具有明显的像差,因此材料折射率均匀性对系统成像质量的影响可以忽略。但是,对高数值孔径投影光刻物镜、超高分辨显微镜等极小像差光学系统而言,各项像差都已经得到了很好的校正,影响其成像质量的主要因素就是应力双折射效应和材料的折射率均匀性等。由材料非均匀性导 […]