【摘要】石英摆片是挠性加速度计的核心元件，其下摆量决定加速度计的量程和分辨率，下摆量和振动频率的稳定性影响加速度计的偏值和标度因数重复性。本文主要分析挠性梁厚度和表面缺陷对摆片性能的影响，为制作高稳定性石英摆片的选材和加工提供依据。挠性梁的尺寸精度通过激光切割和酸刻蚀控制，将激光切割参数设置为功率5KHz，焦距64mm，切割速度2mm/s，吹气压强0.2MPa，可使挠性梁的宽度精度从0.4mm提高 […]