【摘要】鉴于传统硅基MEMS压力传感器在高温、潮湿等复杂环境中的应用具有一定的局限性，本文设计了一种SiC基无线高温压力传感器，能够克服高温环境中传统压力传感器压敏结构失稳及电引线性能退化的问题。SiC材料作为一种新兴的第三代宽带隙半导体材料，其半导体器件能够适应高温、高频、大功率等工作环境，随着SiC材料MEMS加工工艺的不断成熟，对其进行高温压力传感器的制备研究具有重要的现实意义。本文结合国内 […]

【摘要】在航空航天等领域,飞行器载入大气层时，由于高速剧烈摩擦飞行器体表温度可高达1000℃，甚至更高，其高速运动时气动力学环境与飞行器飞行姿态控制密切相关，因此完成飞行器表面高温环境下的压力参量动态实时监测必不可少，同时这种需求对现有测试技术提出了严峻考验。另外，在高温环境下压力与温度参数相辅相成，因此它们实时准确获取，对精确控制系统性能并保证其运行安全以及工作环境分析都具有重要意义。本论文通过 […]