【摘要】椭圆偏振技术是一种先进的测量材料各种光学参数的方法,是一种高精度、非接触、无破坏性的光学分析技术。其主要应用有测量透明介质薄膜的厚度、折射率；材料的介电常数、吸收系数、复折射率等。椭偏法的本质是将材料的光学参数表示成椭偏参数的函数,通过探测分析反射光光强变化得到椭偏参数进而计算其他光学参数。由于数学处理的困难,椭偏法的基本原理及应用直到20世纪40年代计算机出现以后才发展起来。椭偏技术与仪 […]