【摘要】随着社会经济的飞速发展，环境问题也变得日益严重，特别是空气质量问题，已经严重影响到人们的日常生活。为了对易燃易爆气体和室内外常见的有毒有害气体进行实时检测，气体传感器发挥了重大的作用，有效地服务于人们的日常生产和生活中。Fe2O3是一种常见的，结构稳定的金属氧化物材料。它具有优良的物理化学性质，在电池、色素、光电解、磁存储、催化剂、药物疏导和气体传感器等方面发挥着重大的作用。在气体传感器领 […]

【摘要】气体传感器与人们的生产生活息息相关，微结构气体传感器以其尺寸小，灵敏度高，易于实现集成化、智能化和功能化等特点，起着至关重要的作用。微热板作为微型气体传感器中重要的组成部分，一直是学者们研究的热点。本文以有限元分析软件ANSYS为平台，对微结构气体传感器微热板的结构进行了设计和优化，通过对微热板的电极和基底结构进行设计，并对其进行了热场和磁场的分析和优化，从而得到性能优良的微热板结构，主要 […]

【摘要】气体传感器已被广泛应用于检测有毒气体、可燃性气体、湿度等多种气体种类，具有广阔的应用前景。半导体氧化物气体传感器在室温下性质很差，为了获得高的气敏响应和较快的气敏响应和恢复，通常需要在气敏元件上安装加热丝，使气体传感器在高温条件下工作。但是高温下工作会给气体传感器的制作和使用带来很多的不足与缺陷。理论和实验表明光激发可以有效改善气体传感器的性能，紫外光照可以增加半导体中的自由载流子浓度，加 […]

【摘要】人们逐渐认识到室内空气污染有时比室外更会危害人体健康，如何采取安全预警措施避免事故发生已成为当今国家和社会十分关注的安全问题。目前，室内污染气体的检测方法有很多，其中，传感器法具有使用简单，除维修校正外，无需操作可直接读数，无需专业人员操作，适用于在线检测等优点。但是，随着物联网技术的发展，传统的传感器因缺乏集成和嵌入功能，已无法满足系统匹配的需求，而MEMS传感器的高度集成化和兼容性为解 […]

【摘要】自从1962年发现ZnO材料的电导率会随环境气氛发生变化以来，有关ZnO基气、湿敏传感器的研究就一直受到人们的关注。近年来，随着纳米科技与相关制备工艺的快速发展，ZnO基敏感材料的制备技术已臻成熟，如何提高传感器的敏感性能成为研究的重点。本文从纳米ZnO的结构与形貌控制、掺杂、复合和修饰出发，制备了几种ZnO基材料体系，并通过制作传感器原型器件，对其相应的湿度或气体敏感性能研究，分析了相关 […]

【摘要】氧化锌(ZnO)是一种重要的直接带隙n型半导体材料,广泛应用于制造场效应管、气体传感器和太阳能电池等光电子器件领域。在ZnO纳米材料的众多结构中,ZnO纳米线由于具有较高的电导率和较大的表面积是构建超高灵敏度气体传感器的理想材料。但是,目前基于ZnO纳米线制造的气体传感器仍然存在灵敏度低、工作温度高,响应速度慢等问题,这在一定程度上影响了ZnO气敏材料的发展。为了提高ZnO纳米线的气敏性能 […]