【摘要】非球面光学元件以其优异的性能被广泛应用于军用和民用产品中,其性能和精度要求也日渐提高。抛光是非球面元件精密加工的最重要和最终的工序,对非球面的加工质量具有重要的影响,但传统的抛光技术存在明显的缺点。气囊抛光技术是一种新兴的、具有发展潜力的抛光技术,其具有吻合性好、精确可控等优点。气囊抛光工具作为与工件直接接触的部件,其尺寸精度和形状精度影响抛光加工的精度。为保证抛光加工过程的稳定性和精确可 […]