【摘要】GaN材料和石墨烯的研究与应用都是全球的前沿热点。一方面因为GaN材料作为第三代半导体材料在微电子器件、光电子器件的广泛应用。另一方面因为石墨烯这一“超级材料”具有高强度、高导电性、高透过率等优异特性。石墨烯与半导体材料的结合使用，将会使石墨烯在半导体领域拥有广阔的应用前景，因此研究石墨烯与半导体复合系统的性质具有重要价值。本论文利用自主设计搭建的双腔CVD系统生长石墨烯，然后用卤化物气相 […]