【摘要】高精度光学元件的应用需求推动着光学检测技术不断发展，光学检测技术水平决定着加工精度。相移干涉技术是高精度光学元件面形测量时最常采用的技术手段，其中利用压电陶瓷堆作为移相器的机械式移相干涉仪发展最成熟。当对高精度大口径光学元件进行检测时，机械式移相干涉仪因不可避免会产生非线性移相误差而使其检测精度受到限制。波长移相干涉仪通过改变可调谐半导体激光器的输出波长实现移相干涉测量，整个过程不需要机械 […]