【摘要】薄膜元件是激光系统的重要组成部分,随着激光技术的发展,激光系统的输出功率不断提高,在高能量激光的作用下,强烈的电磁场将会使系统中的薄膜元件发生复杂而丰富的变化,这种变化会使薄膜的性能发生改变,而激光系统的功能也会因此受到影响。只有对薄膜在激光下的性能变化进行研究,了解薄膜在激光下损伤阈值(LIDT)的变化规律,才能对薄膜在实际应用场合下的行为变化进行预测、干预及调控。本文采用电子束热蒸发技 […]