【摘要】人眼不可以观察到在黑暗环境下的目标物体,热成像探测器能够解决这个问题因此近年来热成像探测器在军事和民用应用十分广泛。基于光学读出方法的双材料微悬臂梁FPA阵列热成像便是这方面最重要的技术。本文提出的热探测器件结构是基于双材料微悬臂设计的一种新型的热敏感单元,并且读出方式是光学读出方式,这再很大程度上降低了系统设计成本且大大提高结构成功率。实验对氮化硅薄膜的性能以及制作过程的步骤以及各项参数 […]