【摘要】在信息技术飞速发展的21世纪,传感技术已经同计算机技术与通信技术一起成为信息产业的三大支柱之一。在IBM提出的“智慧地球”概念的驱动下,传感技术的发展和应用将越来越广泛,同时这也对生物传感器的性能提出更高的要求,高效率、低成本、高灵敏度的高性能传感器将有着广阔的发展前景。本课题旨在研究一种高灵敏度、低成本的基于氮氧化硅(SiON)波导的级联双环光波导传感器。本文基于我们实验室首先提出的引入 […]