【摘要】人们逐渐认识到室内空气污染有时比室外更会危害人体健康，如何采取安全预警措施避免事故发生已成为当今国家和社会十分关注的安全问题。目前，室内污染气体的检测方法有很多，其中，传感器法具有使用简单，除维修校正外，无需操作可直接读数，无需专业人员操作，适用于在线检测等优点。但是，随着物联网技术的发展，传统的传感器因缺乏集成和嵌入功能，已无法满足系统匹配的需求，而MEMS传感器的高度集成化和兼容性为解 […]