【摘要】随着光伏产业和电子产业的高速发展,太阳能硅片的产量需求日益增长。针对硅晶片的大径化、超薄化的发展趋势,半导体切割技术已逐渐由内圆切割转变为线切割。游离磨料线切割技术具有生产效率高、切口材料损耗小、硅片切割表面损伤层较浅等诸多优点,尤其适用于大直径硅棒的切割,并可同时进行多条硅棒的切片。表面粗糙度的大小是评价硅片加工质量重要的指标之一,为了得到较低的表面粗糙度,需要开展大量繁杂的实验来探究切 […]

【摘要】电火花线切割机床包括：高频脉冲电源、丝筒、机床床身、工作液循环系统、运动控制等部分。其中高频脉冲电源与运动控制部分对整个机床而言是最为关键的,脉冲电源性能的好坏直接影响加工表面的质量,不同的电参数加工出的工件的表面粗糙度是完全不同的。脉冲电源的发展有些年代了,经过了几代发展,现已非常成熟。从晶体管脉冲电源到可控硅脉冲电源再到GRT脉冲电源,直到现在和各种开关电源的出现,电火花线切割机床的高 […]