【摘要】在高温恶劣环境下，气体压力参数的敏感测试由于敏感头的机械结构功能退化、连接引线高温失效等问题，是无法进行实时动态测量的。因此，要对压力传感器进行高温设计，从敏感头材料到连接线材料，及至封装管壳的选取，都要使用在高温下性能仍然稳定的材料，而且要从整个传感器设计上，采用耐高温的设计，以确保压力传感器能够在高温下稳定正常工作。本文采用SOI材料作用敏感头材料，使敏感头在高温下避免了本征半导体被激 […]