【摘要】椭偏仪是一种通过偏振光测量薄膜材料表面性质的仪器。当一束偏振光照射到薄膜材料上时,其反射光或透射光的偏振态会发生变化,根据椭偏参数的变化可以通过数值反演算法来推断薄膜材料的光学常数、厚度、孔隙度、粗糙度等信息,这种方法称为椭偏术。这是是一种快速的、非破坏性的、适应各种采样策略的测量方法。目前光谱椭偏仪被广泛用于薄膜相关的材料学研究,以及IC制造、显示、光伏等薄膜相关的行业。因此关于椭偏仪的 […]

【摘要】本文简单介绍温度验证系统的用途及组成,详细阐述了如何利用现有的技术规范对温度验证系统进行计量,以及相关的技术指标。 【作者】朱毅晨； 【机构】上海市计量测试技术研究院； 【关键词】温度验证仪；验证；GMP；计量； 【参考文献】 [1]王帅.镀银硅片衬底上低温沉积GaN薄膜的特性研究[D].大连理工大学,微电子学与固体电子学,2013,硕士. [2]王威.基于证据推理和神经网络的数据融合技术 […]