【摘要】近年来宏/微执行器(dual-stageactuatorssystem-DSA)作为一种受到广泛关注的高精度装置,其具有定位精度高、行程范围广、鲁棒性强等优点,已被广泛地应用于机械硬盘、电子扫描仪、光栅刻画机和微型机器人等精密工程领域。随着科技的发展,对于执行器的控制精度要求也越来越高。当今机械磁盘的存储容量成倍提升,磁道之间的间隙越来越小,如何提高磁头的定位速度。在纳米技术风靡全球的二十 […]