【摘要】随着社会经济、科学技术的发展，人们对科技产品的质量和精度的要求也越来越高。由于双级执行器系统很好的解决了大行程与高精度二者之间的矛盾，得到了广泛的应用。双级执行器系统中的第一级执行器(粗调执行器)有较大的行程范围，但是没有高的精度，且响应速度慢；第二级执行器(精调执行器)只有小的行程范围，但是有较高的精度，并有较快的响应速度。两级执行器能够用各自优点来补偿对方的缺点。因此双级执行器系统便有 […]

【摘要】随着微电子机械系统（MEMS）技术的发展，微观世界的微米和纳米技术成为人们关注的话题。在微电子，光纤通讯，精密加工等领域都迫切需要精度高、稳定性好的微纳米驱动器。压电陶瓷（PZT）是一种新型功能材料，是一种理想的微驱动器，具有响应速度快、体积小、驱动力大和精确度高等优点，因而被广泛应用在微纳米技术和驱动系统领域。然而压电陶瓷自身存在的迟滞等特性，会严重影响微米和纳米驱动系统的优良性能，这也 […]

【摘要】微位移执行器是微定位设备的核心，寻找性能优良的执行器材料对提高定位精度具有十分重要的意义。磁控形状记忆合金具有比压电材料、超磁致伸缩材料等智能材料形变大、频响高、可精确控制的优点，近年来成为研究热点，有望成为未来新一代微位移执行器的关键材料。迟滞非线性现象存在于磁控形状记忆合金材料中，该现象的存在会导致磁控形状记忆合金执行器响应速度变慢、可控性变差，是实现磁控形状记忆合金执行器高精度位移控 […]

【摘要】随着微电子学科的发展,目前已经进入“亚微米—纳米时代”。压电陶瓷在该技术领域的应用具有优势,因而针对压电陶瓷性能和控制器的研究成为热点,开展该课题研究,对于缩小我们与世界先进国家的距离,促进我国精密仪器、精密加工的水平,提升我国纳米技术方面的发展具有重要的意义。本文分析了压电陶瓷执行器研究现状,阐述了压电陶瓷执行器驱动原理,重点对压电陶瓷执行器电压—位移特性、力—位移特性、迟滞 […]

【摘要】20世纪末，一个名为Vasilevf的研究学者发现了磁控形状记忆合金这种很有趣的新型材料。该材料会在磁场作用下发生形变并且在去除磁场后能够恢复本来的形状。后来经过学者的深入研究，发现该种材料是一种集输出位移大、变形频率快两者于一身的功能材料，有望成为微纳驱动领域不可替代的关键材料。但是由于该种材料发现较晚，国内外对其控制方法的研究还远远不足。因此，本文对该材料制成的执行器输入输出之间呈现的 […]