【摘要】与其他波前检测设备相比，夏克-哈特曼(S-H)波前传感器易操作、而且具有实时性、动态范围大等优点，在大气湍流、眼科医疗、激光光束整形和系统检测等方向都有着普遍的发展。而待测系统的成像质量是计算机辅助装调中必要的输入条件，我们需要借助一定的像质测量技术得到待测系统的像质。S-H波前传感器测得的系统波前可以作为计算机辅助装调的输入条件，开展其在投影光刻物镜计算机辅助装调中的应用研究。限制夏克- […]