【摘要】随着硅基光电子学的迅速的发展,应用光信号代替电信号作为信息的载体越来越受到关注,而硅基光电子器件凭借其成本低、工艺兼容性好、微纳光学特性良好等优点,是集成光学中最有潜力的材料平台,因此它成为了国内外研究的热点。而基于SOI的环形谐振腔结构具有结构微小、系统稳定、相互干扰度低、品质因数高等优势,已经成为硅基光子器件中重要的基础原件,在很多领域都可以应用。最近一种在光学谐振腔中实现类电磁诱导透 […]