【摘要】非球面光学元件以其优异的性能被广泛应用于军用和民用产品中,其性能和精度要求也日渐提高。抛光是非球面元件精密加工的最重要和最终的工序,对非球面的加工质量具有重要的影响,但传统的抛光技术存在明显的缺点。气囊抛光技术是一种新兴的、具有发展潜力的抛光技术,其具有吻合性好、精确可控等优点。气囊抛光工具作为与工件直接接触的部件,其尺寸精度和形状精度影响抛光加工的精度。为保证抛光加工过程的稳定性和精确可 […]

【摘要】离轴筒状超光滑非球面主要应用于软X射线/极紫外波段的掠射光学系统，是用于空间天气预报的软X射线望远系统的主要结构。目前，面形检测是研制筒状非球面的关键和难点。国内由于缺少筒状物镜非球面面形检测方法与设备已严重制约了我国软X射线空间探测望远镜及相关光学仪器设备的研制。细光束干涉扫描方法是当前国际上用于非常规光学元件面形测量的先进技术之一。针对离轴筒状非球面的检测，本文基于细光束干涉原理设计了 […]