【摘要】随着科学技术的不断进步以及工业工程的发展，微定位技术已成为科研人员从宏观领域向微观领域扩展研究的一项关键技术。压电陶瓷材料凭借位移分辨力高、不产热、不易受电磁干扰等优点，已成为微定位系统中理想的驱动元件。本论文针对数字散斑干涉测量中相移技术需要的压电陶瓷微位移器驱动电源进行了设计和研究工作：首先，在对压电陶瓷微位移器驱动电源控制方式及其优缺点和研究现状进行分析和研究的基础之上，提出采用电压 […]