【摘要】透明导电氧化物(简称TCO)薄膜是当今半导体领域研究热点,具有可见光区透过率高、电阻率低等优异的光电性能。广泛应用于平板显示器、太阳能电池等领域。目前可成熟制备的TCO薄膜包括ITO、FTO、AZO薄膜,但它们都各自存在着难以克服的缺点。Nb:TiO2(简称NTO)薄膜是近年来新发现的一种TCO薄膜,具有导电性好、成本低、无毒等优点,具有广阔的应用前景,然而,人们对其认识还不充分,制备技术 […]