【摘要】半导体存储器件和逻辑器件是现代计算、通讯、显示技术的硬件基础。随着数字化时代的到来,半导体存储器件的发展异常迅速。本论文以半导体非易失性存储原理、器件特性的改进和面临scalingdown的技术挑战为研究思路,主要进行以下几方面的研究工作：第一部分从当前非易失性存储技术在材料和结构上的局限性分析利用nc-Si量子点分立电荷存储模式,研制新型的nc-Si量子点浮置栅非易失性存储单元器件。随着 […]